陕西长岭电子科技有限责任公司

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设备维修
     陕西长岭电子科技有限责任公司计划进行真空退火炉VTS-80维修,
     一、主要维修内容如下:
    1.炉胆更换(有效加热区尺寸:600mm*400mm*400mm);
    2.罗茨泵联轴器更换;
    3.高阀气缸及缸桶密封圈更换;
    4.扩散泵维护清理。
    二、维修后应达到指标要求:
    6.1能达到的最高温度:1300摄氏度
    6.2温度匀称性:小于等于正负5摄氏度(空炉9点测温,温度测试点500摄氏度、850摄氏度、1050摄氏度)
    6.3空炉升温时间:小于等于60min(RT~1200摄氏度)
    6.4极限真空度:2*10-3Pa
    6.5抽真空速率:小于等于45min(冷炉抽至2*10-3Pa)
    6.6压升率:小于等于0.5Pa/h


                                                                       联系人:郑工
                                                                       联系电话:0917-3608609

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